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天线效应
简介
在芯片生产过程中,暴露的金属线或者多晶硅(polysilicon)等导体,就象是一根根天线,会收集电荷(如等离子刻蚀产生的带电粒子)导致电位升高。天线越长,收集的电荷也就越多,电压就越高。若这片导体碰巧只接了mos 的栅,那么高电压就可能把薄栅氧化层击穿,使电路失效,这种现象我们称之为“天线效应”。随着工艺技术的发展,栅的尺寸越来越小,金属的层数越来越多,发生天线效应的可能性就越大。
| 中文名 | 天线效应 |
|---|---|
| 原始名称 | 天线效应 |
| 外文名 | antenna effect |
| 条件 | 导体碰到mos的栅 |
| 英文名 | antenna effect |
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