气体质量流量控制器

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简介

气体质量流量控制器(mfc)与气体质量流量计(mfm),mfc是带有控制气体质量流量的装置,而mfm是不具有控制气体质量流量功能的装置。

原始名称	气体质量流量控制器
精选上位词	装置