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简介

自掺杂效应是指由于热蒸发或者化学反应的副产物对衬底的腐蚀,使衬底中的硅和杂质进入气相,改变了气相中的掺杂成分和浓度,从而导致了外延层中的杂质实际分布偏离理想情况。

原始名称	自掺杂效应

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