超净室

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简介

超净室是一种严格要求卫生环境的房间,主要用于光学器件制做,超净室内可以进行涂胶、光刻、蒸发镀膜及键合,清洗、烘干、电镀、腐蚀、扩散及研磨等。超净室条件的保持也特别重要,需要保持个人清洁卫生、时常维护超净室环境的设备、做好设备维护运行记录。

中文名 超净室
原始名称 超净室
外文名 superclean room
精选上位词 房间
英文名 superclean room
适用范围 精细工作
品种
  • 工作室
  • 无尘车间
  • 特点
  • 尘埃粒子极低
  • 无有害气体