二次离子质谱

sims 也称次级离子质谱

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简介

二次离子质谱(secondary ion mass spectroscopy),又称离子探针(ion probe analyzer,ipa)。是一种非常灵敏的表面成份分析手段,也称次级离子质谱,对某些元素可达到ppm量级；但由于各种元素的二次离子差额值相差非常大,作定量分析非常困难。

hiden analytical生产的sims workstation通过snms可以做到很好的定量,snms分析样品表面溅射出来的中性粒子(占到溅射出来的粒子总数的95%以上),用来做定量,误差非常小。

中文名	二次离子质谱
原始名称	二次离子质谱
原理	用一次离子束轰击表面
精选上位词	术语

别名

sims

也称次级离子质谱

次级离子质谱

离子探针

外文名

secondary ion mass spectroscopy

精选别名

sims

也称次级离子质谱

绰号

次级离子质谱

离子探针

英文名

secondary ion mass spectroscopy

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