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低温泵
冷凝泵简介
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
| 中文名 | 低温泵 |
|---|---|
| 原始名称 | 低温泵 |
| 外文名 | cryopump |
| 温度 | 120k时 |
| 精选别名 | 冷凝泵 |
| 绰号 | 冷凝泵 |
| 英文名 | cryopump |
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