电子探针

epma 微区x射线光谱分析仪

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简介

电子探针是一种利用电子束作用样品后产生的特征x射线进行微区成分分析的仪器, 可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。除h、he、li、be等几个较轻元素外,还有u元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。电子探针的大批量是利用经过加速和聚焦的极窄的电子束为探针,激发试样中某一微小区域,使其发出特征x射线,测定该x射线的波长和强度,即可对该微区的元素作定性或定量分析。