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4. 特征尺寸

简介

在集成电路领域,特征尺寸是指半导体器件中的最小尺寸。在cmos工艺中,特征尺寸典型代表为“栅”的宽度,也即mos器件的沟道长度。一般来说,特征尺寸越小,芯片的集成度越高,性能越好,功耗越低。

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