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气相沉积
简介
气相沉积技术 是利用气相中发生的物理、化学过程,在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。气相沉积技术按照成膜机理,可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积。
| 中文名 | 气相沉积 |
|---|---|
| 原始名称 | 气相沉积 |
| 外文名 | chemical vapor deposition |
| 英文名 | chemical vapor deposition |
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