单晶炉
简介
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
| 上位词 | 设备 |
|---|---|
| 中文名 | 单晶炉 |
| 原始名称 | 单晶炉 |
| 品种 | 工业炉 |
| 外文名 | monocrystal furnace |
| 精选上位词 | 设备 |
| 英文名 | monocrystal furnace |
相关实体
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
| 上位词 | 设备 |
|---|---|
| 中文名 | 单晶炉 |
| 原始名称 | 单晶炉 |
| 品种 | 工业炉 |
| 外文名 | monocrystal furnace |
| 精选上位词 | 设备 |
| 英文名 | monocrystal furnace |