外文名
英文名
真空蒸镀
简介
真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
| 中文名 | 真空蒸镀 |
|---|---|
| 原始名称 | 真空蒸镀 |
| 学科 | 材料科学技术 |
| 应用 | 金属防护等 |
| 特点 | 成膜方法简单等 |
| 精选上位词 | 科学百科工程技术分类 |
| 缩写 | 蒸镀 |
相关实体