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离子注入
简介
离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时,离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面,这个现象叫做溅射；而当离子束射到固体材料时,从固体材料表面弹了回来,或者穿出固体材料而去,这些现象叫做散射；另外有一种现象是,离子束射到固体材料以后,受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来,并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入。
| 中文名 | 离子注入 |
|---|---|
| 原始名称 | 离子注入 |
| 外文名 | ion implantation |
| 性质 | 高新技术 |
| 精选上位词 | 原子或分子撞出固体材料表面 |
| 英文名 | ion implantation |
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