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超纯水
简介
超纯水,又称up水,电阻率达到18mΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。
| 中文名 | 超纯水 |
|---|---|
| 别名 | up水 |
| 原始名称 | 超纯水 |
| 外文名 | ultrapure water |
| 定义 | 电阻率达到18mΩ*cm(25℃)的水 |
| 特点 | 水中几乎没有杂质 |
| 绰号 | up水 |
| 英文名 | ultrapure water |
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